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ZQJ-230D氦質譜檢漏儀

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本設備是主要用于對低溫氣瓶可能存在的泄露進行快速定位和定量測量,檢測靈敏度高、速度快、實用范圍廣,并選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,為諸多檢漏方法中的佼佼者。

本設備采用逆擴散方式檢漏,被檢工件接在分子泵出氣口一端,基于不同氣體逆擴散程度不同,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆向擴散由泵腔進入進氣口的質譜室內,從而被質譜儀捕獲并測出。

主要技術參數:

1.最小可檢漏率<5×10-12Pa•m3/s ;

2.測量范圍:5×10-12~1 Pa•m3/s;

3.允許檢漏口最大壓強:1000Pa;

4.響應時間<1s;啟動時間<2min;

5.檢漏口對He抽速:1.3l/s;


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